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一、需求描述
寻求专利许可、专利转让、作价入股、技术开发方面合作伙伴,有意者欢迎沟通。
二、产品亮点
-超薄化,实现最小厚度≤5μm的柔性传感器件;
-大面积,可实现≥500mm×500mm柔性传感阵列制造与集成;
-高精度,单个蒙皮可以集成压力/温度/热流/热膜剪应力等多种高精度传感功能;
-可拉伸,可以拉伸超过50%的变形;
-智能化,可以集成机器学习等技术。大面积多功能柔性智能传感阵列设计与制造技术优势明显,且项目组具有完全自主知识产权,具有更广阔的市场应用前景。
三、项目概况
柔性智能传感器开发与制造技术


图1 传感器单品图片(压电、晶体管、电容、电阻、热膜、热流等)

图2 柔性智能感知阵列系统(iFlexSense)

图3 全天候无线人机交互系统

图4 柔性智能蒙皮:通信+感知+隐身+变形
1、简介
多功能柔性传感器创新成果包括:
-多模态柔性传感新原理,实现柔性智能蒙皮≥5个功能,功能可编程和排列组合,应用于机器人触觉、飞行器态势感知、健康医疗监测、人机交互系统等;
-开发了超薄柔性传感制备工艺,实现了最小厚度≤5μm的传感器,包括应变、温度、热膜、振动、压力传感器等,应用于风洞试验、飞行器状态感知等;
-开发了柔性智能传感器和柔性智能蒙皮系统,集成机器学习等技术,实现数据处理和显示;产品已经应用于上飞、华为、航天三院/九院、中航工业、中国空气动力研究与发展中心、中国电科等。
-搭建了柔性智能传感器生产流程所需装备,自主研制了柔性电子制造装备,包括激光剥离装备、激光直写装备、巨量转移装备、电流体喷印装备、电流体光刻机、曲面电子共形制造装备等系列化设备。
2、性能指标
从下表可以看出,提出的大面积多功能柔性智能传感阵列技术与装备,整体技术达到国际先进水平,主要技术指标达到或超过同类气动测量技术先进水平。

3、技术成熟度
已有样品/样机。
4、应用案例
柔性电子(传感)具有良好的柔韧性、延展性,可以自由弯曲甚至折叠,可以根据应用场景任意布置,在医疗、显示、国防、物联网等领域具有广泛应用前景,预计到2025年市场规模可达 3049.4亿美元,我国市场占全球市场的五分之一。
具体典型应用领域与产业包括:可应用于可穿戴电子设备;移动医疗与健康诊断;智能家居;汽车智能座舱;机器人皮肤与触觉;人机交互与元宇宙;飞行器结构监测与态势感知等领域。
5、知识产权
该成果包括多项已授权中国发明专利和国际专利。
四、团队介绍
华中科技大学是国家教育部直属重点综合性大学,由原华中理工大学、同济医科大学、武汉城市建设学院于2000年5月26日合并成立,是国家“211工程”重点建设和“985工程”建设高校之一,是首批“双一流”建设高校。

华中科技大学
中国顶尖综合研究型大学

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